多层探针组及其制造方法

摘要

本发明公开了一种提供电性测试用的多层探针组及其制造方法，是运用光刻工艺于一基板上制出多个悬臂探针，该多层探针组包含有：一绝缘强化层是设置于该基板上，并形成有至少二连通电路的开口；至少二导电件，分别设置于该绝缘强化层的开口中，且被绝缘强化层包覆与支撑；至少二悬臂探针，该各悬臂探针分别具有一梁构件及一针尖构件；这些梁构件分别与该导电件连接，且至少一梁构件的局部表面贴接撑靠于该绝缘强化层上，这些针尖构件连接于该梁构件上；使贴接撑靠于该绝缘强化层上的悬臂探针结构稳定性较佳。

主权项

一种多层探针组，用于电性测试，其特征在于，包含有：一基板，该基板具备电路；一绝缘强化层，设置于该基板上，并形成有至少二连通电路的开口；至少二导电件，分别设置于该绝缘强化层的开口中，且该二导电件至少部分被该绝缘强化层包覆支撑；至少二悬臂探针，该各悬臂探针分别具有一梁构件及一针尖构件；该梁构件分别与该导电件连接，该针尖构件连接于该梁构件上。