输送方向转换装置及悬浮输送系统

摘要

本发明提供能够缩短向第一输送方向(D1)悬浮输送基板(W)之后再向第二输送方向(D2)悬浮输送基板W的输送时间的输送方向转换装置。在输送方向转换装置中，能够绕与第二输送方向(D2)平行的轴心旋转的第一方向转换用辊(63)设置在各第一方向转换用辊箱(59)内，并且，能够绕与第一输送方向(D1)平行的轴心旋转的第二方向转换用辊(75)设置在各第二方向转换用辊箱(71)内，各第一方向转换用辊(63)及各第二方向转换用辊(75)的高度位置比基准的悬浮高度位置(LP)低。

主权项

一种输送方向转换装置，从向第一输送方向悬浮输送基板的第一悬浮输送装置接受基板，并将接受的基板向在与所述第一输送方向正交的第二输送方向上进行悬浮输送的第二悬浮输送装置送出时，将基板的输送方向从所述第一输送方向转换成所述第二输送方向，其特征在于，具备：方向转换装置主体；多个悬浮单元，设置于所述方向转换装置主体上，且在上表面形成有喷出悬浮气体的喷嘴，并利用悬浮气体的压力使基板悬浮到基准的悬浮高度位置；多个第一方向转换用辊单元，具有沿所述第一输送方向配置在所述方向转换装置主体上、且上侧开口、而且内部能够切换成负压状态和常压状态的第一方向转换用辊箱，以及设置于所述第一方向转换用辊箱内并支撑基板的背面的、能够绕与所述第二输送方向平行的轴心旋转的第一方向转换用辊，并且所述第一方向转换用辊的高度位置比所述基准的悬浮高度位置低，并从所述第一悬浮输送装置接受基板；使所述第一方向转换用辊旋转的第一方向转换用旋转驱动器；多个第二方向转换用辊单元，具有沿所述第二输送方向配置于所述方向转换装置主体上、且上侧开口、而且内部能够切换成负压状态和常压状态的第二方向转换用辊箱，以及设置于所述第二方向转换用辊箱内并支撑基板的背面的、能够绕与所述第一输送方向平行的轴心旋转的第二方向转换用辊，并且所述第二方向转换用辊的高度位置比所述基准的悬浮高度位置低，并向所述第二悬浮输送装置送出基板；以及使所述第二方向转换用辊旋转的第二方向转换用旋转驱动器。