一种快速回温控制系统

摘要

一种快速回温控制系统，用于半导体和硅基太阳能电池生产设备，有大口径卧式电阻炉，该电阻炉炉壁设有六个加热用电极，炉内温区为五段，每段温区都装有一只位于电阻炉炉壁上的S型外热电偶和一只装在石英材质内热电偶套管内的S型内热电偶，每段温区的内热电偶和外热电偶对应处于炉体同一横截面，上位机以及内热电偶同主模块的输入端相连，主模块的输出端以及外热电偶同副模块的输入端相连，副模块的输出端连至触发板的输入端，触发板的输出与可控硅的控制极相连，可控硅的另两只电极分别同变压器的副边、加热电极相连。它能使炉内温度能快速稳定，炉内恒温区精度高，控温重复性好。

主权项

一种快速回温控制系统，有大口径卧式电阻炉(8)，该电阻炉炉壁上沿炉体水平长度方向设有六个加热用电极(7)，该六个电极将炉内温区分为五段，其特征是，每段温区都装有一只位于电阻炉(8)炉壁上的S型外热电偶(9)和一只装在石英材质内热电偶套管(10)内的S型内热电偶(11)，所述内热电偶套管(10)从炉尾端插入电阻炉(8)内部，每段温区的所述内热电偶和外热电偶对应处于炉体的同一个横截面上，上位机(1)以及内热电偶(11)的信号输出端分别与主模块(2)的输入端相连，主模块(2)的输出端以及外热电偶(9)的信号输出端分别与副模块(3)的输入端相连，副模块(3)的输出端连至触发板(4)的信号输入端，而所述触发板(4)的信号输出端与可控硅(6)的控制极相连，可控硅(6)的另两只电极分别同变压器(5)的副边、加热电极(7)相连。