| 发明名称 | 保持器以及基板收纳容器 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种保持器和基板收纳容器，其抑制了伴随基板的旋转而产生的污染和损伤，缓和作用于基板的冲击，能够防止基板脱离或破损的可能，而且能够使将带保持器的盖体安装到容器主体的作业变得容易。保持器(20)由以下部分形成：装配在基板收纳容器的盖体(10)的背面部(13)上的框体(21)；从该框体(21)的一对对置件(22)突出并相互接近的一对第一弹性件(29)；以及支承于该一对第一弹性件(29)的弯曲的自由端部(30)并用于保持半导体晶片(W)的第二弹性件(31)。另外，相比于第一弹性件(29)的自由端部(30)，第二弹性件(31)的外侧端部(32)位于靠框体(21)的对置件(22)的外侧，在该第二弹性件(31)上隔开间隔地分别排列有保持半导体晶片(W)的前部周缘的多个第一、第二保持部(33、34)，第二保持部(34)的位置比第一保持部(33)靠第二弹性件(31)的外侧端部(32)侧。 | ||
| 申请公布号 | CN101855716A | 申请公布日期 | 2010.10.06 |
| 申请号 | CN200880115139.3 | 申请日期 | 2008.10.30 |
| 申请人 | 信越聚合物株式会社 | 发明人 | 小川统 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I;B65D85/86(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 张雨;杨楷 |
| 主权项 | 一种保持器，其包括：框体；从该框体的一对对置件分别突出并相互接近的一对第一弹性件；以及支承于该一对第一弹性件的弯曲的自由端部并保持基板的第二弹性件，其特征在于，相比于第一弹性件的自由端部，第二弹性件的外侧端部位于靠框体的对置件的外侧，在该第二弹性件上隔开间隔地分别形成保持基板的端部周缘的第一保持部和第二保持部，第二保持部的位置比第一保持部靠第二弹性件的外侧端部侧。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||