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发明名称 ELECTROSTATIC CHUCK AND METHOD OF FORMING IT
摘要
申请公布号 EP2232693(A2) 申请公布日期 2010.09.29
申请号 EP20080866803 申请日期 2008.12.18
申请人 SAINT-GOBAIN CERAMICS & PLASTICS, INC. 发明人 ABOUAF, MARC;INTO, STEPHEN, W.;SIMPSON, MATTHEW, A.
分类号 H02N13/00 主分类号 H02N13/00
代理机构 代理人
主权项
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