发明名称 | 玻璃基板蚀刻液及其制备方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种玻璃基板蚀刻液及其制备方法。该蚀刻液是由氟化铵、强酸、水和氨基三乙酸组成。所述氟化铵、强酸和氨基三乙酸占所述蚀刻液总重的百分比分别为:5-20%、20-60%和1-8%;余量为水。该蚀刻液安全、稳定、高效,成本低,能够很好的解决蚀刻过程中产生的难溶性副产物问题,同时也提高了蚀刻速率和蚀刻效果,适当降低环境污染。该蚀刻液适用于TFT玻璃基板、液晶显示(LCD)用玻璃基板、触摸屏(TP)显示用玻璃基板、等离子体(PDP)显示用玻璃基板及有机电致发光(OLED)显示用玻璃基板的减薄。 | ||
申请公布号 | CN101838111A | 申请公布日期 | 2010.09.22 |
申请号 | CN201010178683.1 | 申请日期 | 2010.05.20 |
申请人 | 合肥茂丰电子科技有限公司 | 发明人 | 冯卫文 |
分类号 | C03C15/00(2006.01)I | 主分类号 | C03C15/00(2006.01)I |
代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人 | 关畅 |
主权项 | 一种玻璃蚀刻液,是由氟化铵、强酸、水和氨基三乙酸组成。 | ||
地址 | 安徽省合肥市合肥经济技术开发区莲花路西天门路东 |