发明名称 |
折叠梁式双向微惯性传感器 |
摘要 |
本实用新型涉及一种折叠梁式双向微惯性传感器。现有的传感器分辨率较低。本实用新型的硅质量块四个角上设置有四根蛇形折叠硅支撑梁,硅质量块通过蛇形折叠硅支撑梁和锚点架设在玻璃衬底上。硅质量块上交错设置有两个用于X方向敏感检测的栅形槽和两个用于Y方向敏感检测的栅形槽。玻璃衬底上设置有两个X方向检测模块和两个Y方向检测模块。用于X方向敏感检测的栅形槽与X方向检测模块位置对应,构成两组X方向检测差分检测电容;用于Y方向敏感检测的栅形槽与Y方向检测模块位置对应,构成两组Y方向检测差分检测电容。本实用新型中的蛇形折叠硅支撑梁具有残余应力较小、结构简单等优点。本实用新型分辨率和灵敏度高,制作工艺简单。 |
申请公布号 |
CN201569670U |
申请公布日期 |
2010.09.01 |
申请号 |
CN200920295508.3 |
申请日期 |
2009.12.29 |
申请人 |
杭州电子科技大学 |
发明人 |
董林玺;颜海霞;李永杰 |
分类号 |
G01P15/125(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01P15/125(2006.01)I |
代理机构 |
杭州求是专利事务所有限公司 33200 |
代理人 |
杜军 |
主权项 |
折叠梁式双向微惯性传感器,包括正方形的硅质量块、锚点、蛇形折叠硅支撑梁、玻璃衬底、铝电极、阻尼梳齿,其特征在于:硅质量块四个角上分别设置有四根蛇形折叠硅支撑梁梁,四根蛇形折叠硅支撑梁分别与四个锚点固定连接,硅质量块通过四根蛇形折叠硅支撑梁和四个锚点架设在玻璃衬底上;硅质量块上设置有两个用于X方向敏感检测的栅形槽和两个用于Y方向敏感检测的栅形槽;用于X方向敏感检测的栅形槽和用于Y方向敏感检测的栅形槽成田字形交错排列;玻璃衬底上设置有四个检测模块,分别为通过铝线连接的两个X方向检测模块和通过铝线连接的两个Y方向检测模块,所述的检测模块为玻璃衬底上的栅形铝电极;硅质量块上的两个用于X方向敏感检测的栅形槽分别与玻璃衬底上设置的两个X方向检测模块位置对应,构成两组X方向检测差分检测电容;硅质量块上的两个用于Y方向敏感检测的栅形槽分别与玻璃衬底上设置的两个Y方向检测模块位置对应,构成两组Y方向检测差分检测电容;硅质量块上的用于X方向敏感检测的栅形槽和用于Y方向敏感检测的栅形槽在X和Y方向上完全对称;所述的阻尼梳齿分布在硅质量块的边框四周,X方向的各个阻尼梳齿间通过铝连接线连接,Y方向的各个阻尼梳齿间通过铝连接线连接。 |
地址 |
310018 浙江省杭州市下沙高教园区2号大街 |