含一定湿度的低浓度气体的配制装置及配制方法

摘要

一种含一定湿度的低浓度气体的配制装置，由毛细管及三通或二通式气密性接头连通以下部件：载气钢瓶、质量流量控制器、加热扩散瓶、湿度发生瓶、混气罐组成。所述扩散瓶内置于加热器中，并通过毛细针管与毛细管连通，并根据配制气体组份种类和数目组装设置相应数目和参数的扩散气控制部分。混气罐配置有湿度计以实时测定配制气体的湿度。本发明装置采用扩散稀释式动态配气法，可配制含有一定湿度的低浓度气体，具有成本低、操作简单、耗气量小、配气稳定、湿度调控范围宽、应用广泛等特点。

主权项

含一定湿度的低浓度气体的配制装置，由载气控制部分、扩散气控制部分、湿度控制部分、干空气气路部分和气体浓度混合稳定部分组成，上述各部分通过毛细管及三通或二通式气密性接头连通；其特征在于：载气控制部分包括载气钢瓶(1)和第1质量流量控制器(21)；第2质量流量控制器(22)；第3质量流量控制器(23)；扩散气控制部分包括加热扩散瓶(4)和加热器(5)，所述加热扩散瓶(4)内置于液面稳定的加热器(5)中，仅通过毛细针管(3)的出口端与主体气路毛细管连接；湿度控制部分为湿度发生瓶(7)，所述的湿度发生瓶(7)内盛有恒定液面高度的蒸馏水，并内置有液位自动调控器和自动补水装置；干空气气路部分毛细管与第3质量流量控制器(23)连通；气体浓度混合稳定部分为混气罐(8)。