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发明名称 Thin film forming apparatus and method
摘要
申请公布号 KR100975935(B1) 申请公布日期 2010.08.16
申请号 KR20050089416 申请日期 2005.09.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01J37/30 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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