| 发明名称 | 芯片测试台 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体芯片测试技术领域，尤其是一种芯片测试台，具有测试台和探针驱动机构，其特征是：测试台上开设有吸附孔，测试台设置在精密二维滑台上，探针驱动机构设置在另一精密滑台上，芯片测试台由电机驱动。本实用新型的有益效果是对整体结构进行了简化，采用直线电机来驱动，通过直线导轨来导向，进而实现检测探针的升降运动，替代了直线导轨、滚珠丝杆联轴器和电机，结构简化，方便安装维护，体积也大为减小，避免占用机器内部过多的空间，加工零件少，降低了成本。 | ||
| 申请公布号 | CN201514459U | 申请公布日期 | 2010.06.23 |
| 申请号 | CN200920035435.4 | 申请日期 | 2009.03.23 |
| 申请人 | 常州新区爱立德电子有限公司 | 发明人 | 王琳;唐国强;陈云;顾方成;沈国平 |
| 分类号 | G01R31/28(2006.01)I | 主分类号 | G01R31/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人 | 王凌霄 |
| 主权项 | 一种芯片测试台，具有测试台(15)和探针驱动机构(16)，其特征是：测试台(15)上开设有吸附孔，测试台(15)设置在精密二维滑台(2)上，探针驱动机构(16)设置在另一精密滑台(10)上。 | ||
| 地址 | 213022 江苏省常州市新北区太湖东路9号A座512室 | ||