Gravitationskompensation für optische Elemente in Projektionsbelichtungsanlagen

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Gravitationskompensator zur Lagerung von optischen Elementen in einer Projektionsbelichtungsanlage sowie eine entsprechende Projektionsbelichtungsanlage, wobei der Gravitationskompensator (1, 2), der zumindest teilweise die Gewichtskraft eines gelagerten optischen Elements kompensiert, gleichzeitig eine Positionsänderung des optischen Elements ermöglicht, ohne dass die kompensierte Gewichtskraft bei der Positionsveränderung in unzulässiger Weise verändert wird. Dies gilt insbesondere für hohe zu kompensierende Gewichtskräfte. Darüber hinaus ermöglicht der erfindungsgemäße Gravitationskompensator die Verwendung in verschiedenen Atmosphären sowie den Ausgleich entsprechender Alterungseffekte.