基板检查装置

摘要

本发明揭露一种基板检查装置，用以检查一LCD基板表面之缺陷。该基板检查装置不需改变该基板位置，即可检查一大尺寸基板整体，因此使其高度及机体最小化。

主权项

一种基板检查装置，其特征在于：一表面照明系统，用以照明一基板表面，以检查该基板表面之缺陷；及一基板定位系统，该基板设置于该表面照明系统下方，该表面照明系统用以辅助肉眼检查该基板表面，其中该表面照明系统系固定地架设于一辅助框架，其密封该表面照明系统，及其中：该辅助框架使用绞錬而以其一侧耦合至一主要框架，是故可以枢转地沿着垂直该基板之方向而移动，以照明该基板；及该辅助框架使用多个驱动单位以其另一侧耦合至该主动框架，该等驱动单位可将该辅助框架推向或拉离该主要框架。