整合扫描式光学测量方法

摘要

本发明提供了一种整合扫描式光学测量方法，利用一多频混合光束的光学干涉测量手段，扫描测量一待测对象表面上的复数个测量位置的位置距离，以此获得待测对象表面的轮廓全貌，所述的方法依据所述的复数个测量位置而建立一水平扫描平面，并在所述的水平扫描平面上设定至少一水平扫描向量。同时，设定一垂直于所述的水平扫描向量的垂直扫描向量。接着，将水平扫描向量加上垂直扫描向量，以此获得一整合扫描向量。最后，沿所述的整合扫描向量的方向对所述的复数个测量位置进行扫描，以测量所述的复数个测量位置的位置距离。

主权项

一种整合扫描式光学测量方法，利用一多频混合光束的光学干涉测量技术，扫描测量一待测对象表面上的第一额定数量t个测量位置的位置距离，以此获得所述的待测对象表面的一轮廓全貌，所述的整合扫描式光学测量方法包含：依据所述的t个测量位置而建立一水平扫描平面，并在所述的水平扫描平面上设定至少一水平扫描向量；设定一垂直于所述的水平扫描平面的垂直扫描向量；将所述的水平扫描向量加上所述的垂直扫描向量，以此获得一整合扫描向量；以及沿所述的整合扫描向量的方向移动以对所述的t个测量位置进行扫描，以此测量所述的t个测量位置的位置距离。