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发明名称 CLEANING AGENT AND CLEANING METHOD
摘要
申请公布号 KR100961042(B1) 申请公布日期 2010.06.01
申请号 KR20010062372 申请日期 2001.10.10
申请人 发明人
分类号 B08B3/08;C11D3/43;B08B3/00;C11D1/00;C11D3/32;C11D3/34;C11D11/00;C11D17/08;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/311;H01L21/461 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
主权项
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