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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Analyse einer Probe, insbesondere einer Probe, welche Materialien mit geringer Dichte aufweist. Ionen einer vorbestimmten Masse und/oder mit einer vorbestimmten Elementarladung werden aus einer Vielfalt von Ionen selektiert und auf die Probe zu Probenpräparation geführt. Anschließend wird ein Elektronenstrahl auf die präparierte Probe geführt und eine räumliche Verteilung von gestreuten Elektronen gemessen.
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