发明名称 |
一种用于扫描探针显微镜的金薄膜基底制作方法 |
摘要 |
本发明属于扫描探针显微镜中基底的制作方法。通过真空蒸镀的方法,在新解离的云母表面镀一层金薄膜,然后将此薄膜剥离于硅片的表面得到较平的金基底。此基底具有很好的平整度,可用做纳米笔书写,硫醇的自组装体系,生物分子DNA及蛋白质的原子力显微镜的可视化研究。 |
申请公布号 |
CN1558424B |
申请公布日期 |
2010.04.07 |
申请号 |
CN200410010647.9 |
申请日期 |
2004.01.16 |
申请人 |
中国科学院长春应用化学研究所 |
发明人 |
李壮;刘志国;马智勇;吴爱国;周化岚;魏刚 |
分类号 |
G12B21/00(2006.01)I;H01J37/20(2006.01)I;G01N13/10(2006.01)I |
主分类号 |
G12B21/00(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种用于扫描探针显微镜的金薄膜基底制作方法,其特征在于步骤和条件如下:1)、以云母作模板,将云母解离,放入蒸镀设备中;2)、用纯度大于99.9%的金丝,在室温下,压力小于0.5×10-5Torr,以0.1nm/S的速度进行蒸镀,控制镀层的厚度为150-200nm;在此镀层上电子束溅射10nm厚的钛膜,接着电子束溅射150nm厚的二氧化硅;3)、将硅片用体积比为3∶1的浓硫酸,过氧化氢加热处理,用乙醇、水超声洗涤;4)、硅片上滴一小滴a-氰基丙烯酸乙酯胶粘剂,将剪裁好的云母-金的金面朝下,轻轻的贴于硅片上,待胶干后,得到硅-金-云母的夹心物;5)、用双面胶一层一层的剥离云母层,并用万用表检查剥离后的表面的导电性,直至表面具有了导电性,已剥完了云母层;或者,用机械剥离的方法直接将整块的云母剥离。 |
地址 |
130022 吉林省长春市人民大街5625号 |