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Eine Laserbearbeitungsvorrichtung mit einer Halteeinheit zum Halten eines zu bearbeitenden Werkstücks und einer Bearbeitungseinheit zum Aufbringen eines Laserstrahls auf das durch die Halteeinheit gehaltene Werkstück wird bereitgestellt. Die Bearbeitungseinheit beinhaltet einen Oszillator zum Oszillieren des Laserstrahls, eine Fokussierungslinse zum Fokussieren des durch den Oszillator oszillierten Laserstrahls in Richtung auf das Werkstück und einen Fokuspositionseinstellmechanismus zum Einstellen der Fokusposition des durch die Fokussierungslinse fokussierten Laserstrahls. Der Fokuspositionsmechanismus beinhaltet eine bewegbare Einheit, die einen Permanentmagneten aufweist und die Fokussierungslinse hält, einen ortsfesten Abschnitt mit einer Spule zum Bewegen der bewegbaren Einheit in einer Richtung senkrecht zu dem Werkstück und einem Gaslager zum Halten der bewegbaren Einheit durch Verwendung eines Gases und ein Halteelement zum Halten der bewegbaren Einheit von der unteren Seite durch Verwendung einer magnetischen Abstoßwirkung.
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