发明名称 PHOTOSENSITIVE COMPOUND, PHOTOSENSITIVE COMPOSITION, RESIST PATTERN FORMING METHOD, AND DEVICE PRODUCTION PROCESS
摘要
申请公布号 KR100948212(B1) 申请公布日期 2010.03.18
申请号 KR20080011580 申请日期 2008.02.05
申请人 发明人
分类号 G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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