| 发明名称 |
Apparatus for producing compound semiconductor devices |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2273391(B) |
申请公布日期 |
1997.01.15 |
| 申请号 |
GB19930022940 |
申请日期 |
1993.11.08 |
| 申请人 |
* MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
TAKASHI * MOTODA;SHOUICHI * KARAKIDA;NOBUAKI * KANENO;SHIGEKI * KAGEYAMA |
| 分类号 |
C30B35/00;C23C16/448;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/365;(IPC1-7):H01L21/205;C23C16/52 |
主分类号 |
C30B35/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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