发明名称 |
集成外转子式直驱抛光机转台 |
摘要 |
本发明涉及抛光设备技术领域,特别是关于一种集成外转子式直驱抛光机转台装置。支撑轴承的内圈固定安装于转子轴盘,支撑轴承的外圈固定安装于轴承座内,抛光盘安装于转子轴盘上,支撑轴承为转子轴盘和抛光盘提供精密的旋转支撑;直驱电机定子通过支撑盘安装于转子轴盘内部;圆光栅安装在转子轴盘下端,读数头安装在支撑盘上,用以完成转台的速度和位置反馈控制。转子轴盘集成了直驱电机的转子,实现直驱电机对抛光盘的直接驱动,使得转台结构紧凑、精度高,可广泛应用于精密抛光设备。 |
申请公布号 |
CN101554710A |
申请公布日期 |
2009.10.14 |
申请号 |
CN200910083590.8 |
申请日期 |
2009.05.11 |
申请人 |
清华大学 |
发明人 |
路新春;赵德文;王同庆;雒建斌 |
分类号 |
B24B29/00(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)N |
主分类号 |
B24B29/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京众合诚成知识产权代理有限公司 |
代理人 |
张文宝 |
主权项 |
1.集成外转子式直驱抛光机转台,其特征在于,支撑轴承(2)的内圈安装在转子轴盘(3)上,支撑轴承(2)的外圈安装于轴承座(1)内;抛光盘(6)安装于转子轴盘(3)上;支撑盘(8)与轴承座(1)下端用螺栓联接,直驱电机定子(7)用螺栓安装于支撑盘(8)上;圆光栅(9)安装在转子轴盘(3)下端,读数头(10)安装在支撑盘(8)上,用以完成转台的速度和位置反馈控制;集液槽(11)安装与抛光盘(6)外沿下方,用以实现对抛光盘(6)上表面液体的收集。 |
地址 |
100084北京市100084-82信箱 |