化学流体沈积之污染抑制

摘要

揭露一沈积材料于基材表面或渗入一多孔固体的方法，该等方法包括了沈积材料的污染抑制。

主权项

一种抑制基材表面沈积材料层上之污染的方法，包括有：(i)选择该沈积材料之一前驱物及一溶剂，其中该前驱物于该溶剂为超临界或近似于超临界流体的情况下会分解，其中该沈积材料包括金属或合金，该前驱物包括该金属或合金之错合物；(ii)溶解该前驱物于该溶剂中以形成一超临界或近似于超临界的溶液；以及(iii)在维持超临界或近似于超临界条件下使该前驱物分解并使该基材接触于该溶液中，因而在该基材表面形成材料层，其中该基材包括矽基材或氟聚合物基材；其中该材料层至少有95重量百分组成的沈积材料。