内连线结构及其制作方法

摘要

一种内连线结构，此内连线结构包括基底、导体阻障层、介电层与奈米碳管。基底中具有导电区。导体阻障层配置于导电区上，且导体阻障层的材料为以铁、钴或镍为基底的化合物。介电层配置于基底上。奈米碳管配置于介电层中且与导体阻障层电性连接。

主权项

一种内连线结构，包括：一基底，该基底中具有一导电区；一导体阻障层，配置于该导电区上，且该导体阻障层的材料为以铁、钴或镍为基底的化合物；一介电层，配置于该基底上；以及一奈米碳管，配置于该介电层中且与该导体阻障层电性连接。