发明名称 |
颗粒发生原因判别系统、和颗粒发生原因判别方法 |
摘要 |
本发明提供即使是几乎没有与颗粒的发生原因有关知识的人员,也能够正确地判别颗粒的发生原因的颗粒发生原因判别系统和颗粒发生原因判别方法,判别颗粒的发生原因的颗粒发生原因判别系统(43)具备客户PC(47)和主服务器(48),主服务器(48)具被保存计算与多个颗粒发生原因的各个有关的准确度的计算方法的程序的存储器;和基于各保存的程序,由颗粒分布图、各颗粒的材质、形状和尺寸,针对各颗粒发生原因计算上述准确度的CPU,客户PC(47)在显示器(51)上显示关于各颗粒发生原因计算出的准确度。 |
申请公布号 |
CN101526482A |
申请公布日期 |
2009.09.09 |
申请号 |
CN200910006536.3 |
申请日期 |
2009.02.17 |
申请人 |
东京毅力科创株式会社 |
发明人 |
守屋刚 |
分类号 |
G01N21/88(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/88(2006.01)I |
代理机构 |
北京尚诚知识产权代理有限公司 |
代理人 |
龙 淳 |
主权项 |
1.一种颗粒发生原因判别系统,其具备用户接口装置和颗粒发生原因判别装置,判别颗粒的发生原因,其特征在于:所述颗粒发生原因判别装置具备保存部和计算部,所述保存部保存以点数计算关于多个颗粒发生原因的各个的可能性的计算方法的程序,所述计算部基于所述被保存的程序,至少由基板表面的颗粒分布,针对各所述颗粒发生原因计算所述点数,所述用户接口装置显示针对各所述颗粒发生原因所计算出的所述点数。 |
地址 |
日本东京都 |