切削工具用硬质被膜

摘要

本发明提供切削工具用硬质被膜，切削高硬度淬火钢时该被膜具有优异的耐磨损性。该被膜形成在基材上，其特征在于，其包含交替层积第一被膜层和第二被膜层各2层以上形成的多层被膜层，第一被膜层含有至少Al和Cr作为金属成分、含有N作为非金属成分和含有不可避免的杂质，第二被膜层含有至少Ti和Si作为金属和半金属成分、含有N作为非金属成分和含有不可避免的杂质，第一被膜层和第二被膜层各自每一层的膜厚被设定为1～20nm，第二被膜层具有平均粒径为1～20nm的粒状微细结晶和非晶质部混合的组织，用截面TEM法观察多层被膜层时，在1μm×1μm的面积中第二被膜层的10个以上微细结晶进入相邻的第一被膜层内部，进入深度为第一被膜层的膜厚的10％以上。

主权项

1. 一种切削工具用硬质被膜，该硬质被膜是形成在基材上的切削工具用硬质被膜，其特征在于，该硬质被膜包含多层被膜层，该多层被膜层是交替层积第一被膜层和第二被膜层各2层以上而形成的，所述第一被膜层是含有至少Al和Cr作为金属成分、含有N作为非金属成分以及含有不可避免的杂质的被膜层，所述第二被膜层是含有至少Ti和Si作为金属和半金属成分、含有N作为非金属成分以及含有不可避免的杂质的被膜层，所述第一被膜层和所述第二被膜层各自每一层的膜厚被设定为1nm～20nm，所述第二被膜层具有非晶质部和平均粒径为1nm～20nm的粒状微细结晶混合的组织，用截面TEM法观察所述多层被膜层时，在1μm×1μm的面积中，所述第二被膜层的10个以上微细结晶进入相邻的所述第一被膜层的内部，进入深度为所述第一被膜层的膜厚的10％以上。