静电消除器

摘要

本发明系准确地侦测放电电极之污染程度。作为目标机架地线电流值，以例如0为基准，在正侧与负侧交替使目标值变化到不对工件之离子平衡有影响之程度。对于目标值变化之追随时间即相位之延迟会依放电电极21之污染程度而不同，污染越严重，则追随时间就会越长。利用该特性而准备复数个临限值，并与所侦测出之机架地线电流FGIC之值进行对比，藉此来侦测放电电极21之污染程度。