氯离子感测膜之制造方法、氯离子感测装置、量测系统、氯离子感测元件之感测度量测方法以及氯离子感测元件温度敏感性、响应时间、迟滞量与时漂量之量测方法

摘要

本发明提供了一种氯离子感测装置，包括：一金氧半场效电晶体；一氯离子感测元件，包括一矽基材、一导电膜以及一氯离子感测膜；一绝缘层，部份包覆该氯离子感测元件，定义出一感测窗口并部份露出其内之该氯离子感测膜；以及一导线，穿透该绝缘层，以连结该金氧半场效电晶体与该氯离子感测元件。本发明另提供一种氯离子感测膜之制造方法、感测度量测系统以及氯离子感测元件之感测度量测方法。