发明名称 真空离子镀膜机的自转机构
摘要 本实用新型公开了一种真空离子镀膜机的自转机构,包括连接在真空镀膜室内的自转轴座和自转轴,其中,自转轴座由上、下轴座通过螺栓连接组合而成并将自转轴的中段套装于其内,所述自转轴伸出自转轴座的上端作为齿轮的中转轴连接于齿轮中间,下端连接挂钩,自转轴座内围绕自转轴设有承接自转轴的滚珠组;自转轴采用滚珠组承接,能起到很好的固定、转动效果,在没有润滑脂的环境下,滚珠能较好保证长时间的转动,本实用新型旋转可靠,使用寿命长,更合适于真空镀膜室的使用环境。
申请公布号 CN201265038Y 申请公布日期 2009.07.01
申请号 CN200820200630.3 申请日期 2008.09.13
申请人 苏东艺 发明人 苏东艺
分类号 C23C14/22(2006.01)I;C23C14/48(2006.01)I 主分类号 C23C14/22(2006.01)I
代理机构 江门嘉权专利商标事务所有限公司 代理人 谭志强
主权项 1、一种真空离子镀膜机的自转机构,包括连接在真空镀膜室内的自转轴座(1)和自转轴(2),其中,自转轴座(1)由上、下轴座(11、12)通过螺栓连接组合而成并将自转轴(2)的中段套装于其内,所述自转轴(2)伸出自转轴座(1)的上端作为齿轮(3)的中转轴连接于齿轮(3)中间,下端通过连接挂钩(4),其特征在于:所述自转轴座(1)内围绕自转轴(2)设有承接自转轴(2)的滚珠组(5)。
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