表面测量探头

摘要

确定表面测量探头的漂移的装置和方法。表面测量探头包括壳体、表面接触触针、使所述触针发生振动的振动发生器，用于确定与触针振动的变化相关的参数的传感装置以及用于确定该参数与一阈值的关系的比较器。当触针与表面不相接触时获得参数读数并在时间t上对其进行平均化，时间t远大于接触表面的过渡时间。将参数读数的平均值与参考参数进行比较。比较结果用于确定是否存在很大的参数漂移。因此，由于温度变化导致的漂移得以校正。

主权项

1. 一种确定表面测量探头的漂移的方法，所述表面测量探头包括壳体、表面接触触针、使所述触针发生振动的振动发生器、确定与所述触针的振动变化相关的参数的传感装置以及确定所述参数与一阈值之间的关系的比较器，所述方法包括以合适顺序排序的以下步骤：当触针与表面不相接触时获取参数的读数；在时间t中平均化所述参数读数，所述时间t远大于当接触表面时的过渡时间；将参数读数的平均值与参考参数进行比较；使用所述比较结果来确定是否存在明显的参数漂移。