感测装置

摘要

一种感测装置，其包括设有二孔道之一载板、一配设于载板之电容感测元件以及一盖体。电容感测元件具有一振动膜，而振动膜与载板间形成一第一腔室，盖体则配设于载板，并覆盖电容感测元件。其中，振动膜与盖体间形成一第二腔室，第一腔室与第二腔室分别位于振动膜之两侧，且这些孔道分别连通至第一腔室与第二腔室。