| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ERMITTELN VON RÜCKSTÄNDEN EINES MATERIALS SOWIE VERWENDUNG HIEFÜR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT10543(U1) |
申请公布日期 |
2009.05.15 |
| 申请号 |
AT20070000724U |
申请日期 |
2007.12.03 |
| 申请人 |
AT & S AUSTRIA TECHNOLOGIE & SYSTEMTECHNIK AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
MOSER CHRISTOPH DR.;UNZEITIG WOLFGANG |
| 分类号 |
G01N21/78;C23G5/02;H01L21/66;H03K3/26 |
主分类号 |
G01N21/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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