具受控电阻之抗电浆陶瓷

摘要

本发明揭示了在采用一腐蚀/侵蚀性电浆的半导体处理条件下抵抗腐蚀/侵蚀的特种陶瓷材料。腐蚀性电浆可为一含卤素电浆。该特种陶瓷材料已经被改质以提供可以抑制电浆电弧放电的受控电阻率。