| 发明名称 |
Siliciumhaltige, folienbildende Zusammensetzung, siliciumhaltige Folie, siliciumhaltiges, folientragendes Substrat und Strukturierungsverfahren |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE602007000428(D1) |
申请公布日期 |
2009.02.12 |
| 申请号 |
DE20076000428T |
申请日期 |
2007.06.08 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD. |
发明人 |
OGIHARA, TSUTOMU;UEDA, TAKAFUMI;ASANO, TAKESHI;IWABUCHI, MOTOAKI |
| 分类号 |
C08L83/04;B32B9/04;C09D183/04;G03F7/09 |
主分类号 |
C08L83/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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