平面显示器用的化学气相沉积装置

摘要

一种平面显示器用的化学气相沉积装置，包含：基座，其安装在腔室中，能够升高，且具有用来承载平面显示器的上表面；柱，其具有耦合到基座的后表面的中心区域的上端，和向下穿过腔室而暴露的下端，从而支撑基座，使其能够升高；以及基座支撑件，其在腔室中耦合到柱，使得其上表面的至少一区域接触并支撑基座的后表面，从而从基座的下侧支撑基座，以防止基座凹陷。