研磨玻璃基板之方法

摘要

本发明欲提供一种研磨一玻璃基板之方法，该玻璃基板必须如同用于遮罩基底之玻璃基板般具有极高的表面平滑度及表面精度。本发明系关于一种研磨一玻璃基板之方法，其包含用一研磨垫研磨该玻璃基板，同时向该研磨垫供应一包含研磨材料及水之研磨浆液，其中该研磨浆液含有选自由聚三葡萄糖(pullulan)及水溶性醇类组成之群之至少一者，该等水溶性醇类为具有两个以上OH基团之多价有机化合物。该浆液较佳具有一调节至0.5-4之pH值。