| 发明名称 |
SPUTTER MODULE FOR MODULAR WAFER PROCESSING MACHINE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0308275(A3) |
申请公布日期 |
1991.04.17 |
| 申请号 |
EP19880308668 |
申请日期 |
1988.09.19 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOCIATES, INC. |
发明人 |
HUTCHINSON, MARTIN ALBERT |
| 分类号 |
H01L21/677;C23C14/56;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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