| 发明名称 |
METHOD FOR CONTROLLING TEMPERATURE CONTROL MECHANISM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05250045(A) |
申请公布日期 |
1993.09.28 |
| 申请号 |
JP19920082643 |
申请日期 |
1992.03.04 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON KYUSHU KK |
发明人 |
KUDO HIROYUKI;HAGIO KAZUO |
| 分类号 |
G05B21/02;G05D23/19;(IPC1-7):G05D23/19 |
主分类号 |
G05B21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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