| 发明名称 | 测量头用位置调整器和非接触型电阻率测定装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供测量头用位置调整器和非接触型电阻率测定装置，该装置包括，调整测量头(16)与测量试样(17)之间间距的头位置调整机构(12)；与测量头(16)形成一体的平行于测量试样(17)的基准板(13)，其间接表示测量头(16)和测量试样(17)的表面之间间距；包括线性图象传感器的头间距监视机构(14)射出检查光，比较在基准板(13)和测量试样(17)反射的反射光，监视测量头(16)和测量试样(17)表面之间的间距；根据头间距监视机构(14)的测量值，驱动头位置调整机构(12)，将测量头(16)与测量试样(17)的表面之间间距调整为设定值的控制机构(15)。 | ||
| 申请公布号 | CN100424510C | 申请公布日期 | 2008.10.08 |
| 申请号 | CN200410088575.X | 申请日期 | 2004.11.05 |
| 申请人 | 奈普森株式会社 | 发明人 | 细川理彰 |
| 分类号 | G01R1/02(2006.01);G01B11/14(2006.01);G01R27/02(2006.01);H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | G01R1/02(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 程伟 |
| 主权项 | 1. 一种测量头用位置调整器，其特征在于：包括，头位置调整机构，该头位置调整机构调整测量头与测量试样之间的间距，该测量头在以稍小的间距间隔开的状态，对测量试样的表面进行扫描；透明的基准板，该透明的基准板与上述测量头形成一体，并且按照与上述测量试样的表面平行的方式设置，间接地表示上述测量头和上述测量试样的表面之间的间距；头间距监视机构，该头间距监视机构通过上述基准板，向上述测量试样的表面射出检查光，比较在上述基准板反射的反射光和在测量试样的表面反射的反射光的入射位置，由此监视上述测量头和上述测量试样的表面之间的间距；控制机构，该控制机构根据上述头间距监视机构的测量值，驱动上述头位置调整机构，将上述测量头与上述测量试样的表面之间的间距调整为设定值。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||