发明名称 Verfahren zum Herstellen eines nichtwasserlöslichen Überzuges aus Germaniumoxyd an der Oberfläche eines Germaniumkristalles
摘要
申请公布号 AT263858(B) 申请公布日期 1968.08.12
申请号 AT19660011369 申请日期 1966.12.09
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人
分类号 C23C22/02;C23C22/68;H01L21/316 主分类号 C23C22/02
代理机构 代理人
主权项
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