发明名称 |
Verfahren zum Herstellen eines nichtwasserlöslichen Überzuges aus Germaniumoxyd an der Oberfläche eines Germaniumkristalles |
摘要 |
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申请公布号 |
AT263858(B) |
申请公布日期 |
1968.08.12 |
申请号 |
AT19660011369 |
申请日期 |
1966.12.09 |
申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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分类号 |
C23C22/02;C23C22/68;H01L21/316 |
主分类号 |
C23C22/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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