发明名称 |
测试筐的定位装置 |
摘要 |
本实用新型涉及一种测试筐的定位装置,该定位装置包括与测试筐连接的T型头,与T型头进行卡合的卡合结构,卡合结构通过其内螺纹与一螺丝螺纹连接,其中,卡合结构与螺丝之间设置一弹簧,该弹簧可防止螺丝与卡合结构之间的松动。采用本实用新型的测试筐的定位装置不仅能将测试筐与机械手臂牢固固定,同时可以保护测试筐不与外面的物体发生碰撞。 |
申请公布号 |
CN201083799Y |
申请公布日期 |
2008.07.09 |
申请号 |
CN200720072524.7 |
申请日期 |
2007.07.17 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
潘军花;李平;马瑾怡 |
分类号 |
G01R31/00(2006.01);G01R31/26(2006.01);G01R31/28(2006.01);H01L21/66(2006.01) |
主分类号 |
G01R31/00(2006.01) |
代理机构 |
上海智信专利代理有限公司 |
代理人 |
王洁 |
主权项 |
1.一种测试筐的定位装置,包括与测试筐连接的T型头,与T型头进行卡合的卡合结构,卡合结构通过其内螺纹与一螺丝螺纹连接,其特征在于:卡合结构与螺丝之间设置一弹簧,该弹簧防止螺丝与卡合结构之间的松动。 |
地址 |
201203上海市张江路18号 |