制造装置及发光装置的制造方法

摘要

作为全彩色的平面显示器，对其高精细化、高开口率及高可靠性的需求越来越高。这种要求当推进伴随发光装置的高精细化(像素数的增大)以及小型化的各个显示像素间距的微细化时成为很大的课题。本发明的要旨在于：使用激光束，并使它经过掩模的开口，来选择性地形成包含有机化合物的层，将形成有光吸收层及包含有机化合物的材料层的被照射衬底和提供有第一电极的被成膜衬底配置为彼此相对，并且通过经过掩模的开口的激光束对光吸收层进行加热，使与被加热的区域重叠的位置的有机化合物蒸发，从而在被成膜衬底的面上选择性地形成膜。

主权项

1.一种制造装置，包括：发射激光的光源单元；将所述激光形成为矩形或线形的激光束的光学系统；对所述矩形或线形的激光束选择性地进行遮光，或者选择性地反射所述矩形或线形的激光束的光控制单元；将经过所述光控制单元的激光束扫描到提供在被照射衬底的光吸收层上的扫描单元；以及对所述光控制单元、所述被照射衬底、及被成膜衬底进行位置对准的对准单元，其中，所述经过光控制单元的激光束对所述光吸收层进行加热，所述光吸收层对提供在所述被照射衬底的第一材料层进行加热，以使所述第一材料层的至少一部分气化，而在与所述被照射衬底相对地配置的所述被成膜衬底上形成第二材料层。