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发明名称 SLM LITHOGRAPHY: PRINTING TO BELOW K1=.30 WITHOUT PREVIOUS OPC PROCESSING
摘要
申请公布号 EP1994446(A1) 申请公布日期 2008.11.26
申请号 EP20070703561 申请日期 2007.02.26
申请人 MICRONIC LASER SYSTEMS AB 发明人 SANDSTROEM, TORBJOERN;IVONIN, IGOR
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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