过滤元件及其生产方法

摘要

本发明涉及一种生产过滤元件的方法，所述方法包括以下步骤：S1)施加膜层(1)到载体衬底(2)上；S2)在与膜层(1)相对的载体衬底(2)面上蚀刻膜室(3)，从而只保留载体衬底(2)的一个残余层(5)；S 3)在膜层(1)中产生孔(6)以便形成穿孔膜；S4)通过蚀刻除去残余层(5)以便暴露膜层(1)；S5)对膜层(1)进行附加处理以提高机械阻力，所述处理发生在步骤S1中或在后续步骤中。膜层由于所述处理具有结晶结构和/或压缩结构和产物，其中结晶结构具有相对于膜层(1)的原料提高的机械阻力，由此优选产生其中的内部初始应力。

主权项

1.一种生产过滤元件的方法，包括以下连续步骤：S1)施加膜层到载体衬底上，S2)在与膜层相对的载体衬底面上蚀刻膜室，从而仍保留载体衬底的残余层，S3)通过光刻和蚀刻方法在膜层中产生孔以便形成穿孔膜，S4)通过蚀刻除去膜室的残余层以便暴露膜室的膜层，S5)其中在步骤S1中或在后续步骤中对膜层进行附加处理以提高其机械强度，所述附加处理包括以下：S51)在步骤S1中在膜层中形成晶核；和/或S52)在步骤S1和/或S5中，通过加热，温度处理载体层和膜层的结构以提高膜层中的结晶量；和/或S53)在步骤S5中热等静压载体层和膜层的结构以提高膜层中的结晶量；和/或S54)在步骤S1或S5中在膜层中产生内部预应力。