一种加工玻璃微通路的新方法

摘要

一种加工玻璃微通路的新方法，其特征在于：它是以普通玻璃为基片，以凡士林油、羊毛脂复合物做掩膜来保护玻璃，用惰性细针尖部按要求图案对附着在玻璃上的掩膜进行划痕而露出玻璃细缝，用水、氢氟酸、氟化氨和羧甲基纤维素混合体系按比例配成腐蚀液，对玻璃露痕进行腐蚀，在玻璃表面腐蚀出微细沟痕即玻璃微通路。本发明解决了玻璃微通路加工需要生产设备昂贵，加工工艺十分复杂，投资成本很高的问题。与现有的加工方法相比，具有采用原料易得，加工工艺简单，投资成本低，所用设备简单的特点。由于其应用范围广，拓宽了玻璃微流控芯片的生产加工领域，推进了玻璃芯片生产的规模化。

主权项

1、一种加工玻璃微通路的新方法，其特征在于：它是以普通玻璃为基片，以凡士林油、羊毛脂复合物做掩膜来保护玻璃，用惰性细针尖部按要求图案对附着在玻璃上的掩膜进行划痕而露出玻璃细缝，用水、氢氟酸、氟化铵和羧甲基纤维素混合体系配成腐蚀液，对玻璃露痕进行腐蚀，在玻璃表面腐蚀出微细沟痕即玻璃微通路，上述掩膜、腐蚀液由下述各组分并按重量份额制得：(1)掩膜：凡士林油75-95、羊毛脂5-25；(2)腐蚀液：氢氟酸5-30、氟化铵3-20、羧甲基纤维素2-18、水30-60。