液晶显示单元

摘要

本文提出了一种有源矩阵液晶显示单元，其中在漏极布线和栅极布线相交处的布线损坏可以得到有效防止。沿着漏极布线延伸并且深度等于或大于漏极布线宽度的一或多个凹进在栅极布线的位于栅极布线与漏极布线相交处附近区域中的至少一侧处形成。进而，栅极布线由例如Mo和Al两层组成，并且栅极布线的侧面逐渐变细。在栅极布线的与漏极布线相交处附近区域中形成的具有足够深度的凹进足以加长蚀刻剂的渗透路径。另外，由于栅极布线的侧面变细，因此漏极布线上形成的台阶可以制作得坡度缓一些，并且台阶处的漏极布线的质量恶化和厚度减少可以受到抑制。结果，可以更加有效地防止与栅极布线相交处的漏极布线的损坏。

主权项

1.一种具有TFT衬底的液晶显示单元，该TFT衬底包括：透明绝缘衬底；第一布线，其位于所述透明绝缘衬底上，所述第一布线具有第一部分、以及第二部分；第二布线，其位于所述第一布线上方，所述第二布线与所述第一布线相交；以及薄膜晶体管，其在由所述第一布线和所述第二布线所包围的每一个区域中形成，其中沿着所述第二布线延伸的多个凹进是在与所述第二布线相交处的附近区域中，在所述第一布线的所述第二部分的至少相同的一侧处形成的，以致所述第二部分具有小于所述第一部分的宽度，其中所述多个凹进沿着所述第二布线延伸的相邻侧被设置在直接位于所述第二布线下方的区域中，并且其中所述第一布线的所述多个凹进与所述第二布线的相应侧重叠。