发明名称 Electrostatic lens and electrostatic lens array
摘要
申请公布号 GB0817912(D0) 申请公布日期 2008.11.05
申请号 GB20080017912 申请日期 2008.10.01
申请人 MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V. 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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