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Ein Verfahren der Lasereinarbeitung eines kleinen Loches (75) mit hoher Bearbeitungspräzision in einen Bearbeitungsgegenstand (10) wird offenbart. Dasrahlen des Laserstrahls (71) auf den Bearbeitungsgegenstand mit einer örtlich festliegenden optischen Achse während der Bearbeitungsgegenstand in Drehung versetzt wird. Wenn die optische Achse des Laserstrahls örtlich festliegt, werden die Ränder des kleinen Loches, das eingearbeitet werden soll, bestrahlt und das kleine Loch wird im Wesentlichen kreisförmig, selbst wenn die Querschnittsform im Fokus des Laserstrahls nicht kreisförmig ist. Wenn das kleine Loch vollständig durch den Bearbeitungsgegenstand hindurch ausgebildet ist, wird eine Abgasfahne (73) zur Entfernung aus einem Bereich des Bearbeitungsgegenstands auf einer Seite, die von dem Loch, das eingearbeitet wird, abgewandt ist, abgesaugt.
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