氧化锌制程结构及制作方法

摘要

一种氧化锌制程结构及制作方法，系选择一铝酸锂(LiAlO#sB!2#eB!)作为基板，并在该铝酸锂基板上生长一单晶薄膜之氧化锌(ZnO)缓冲层，藉此，利用该铝酸锂基板生长非极性氧化锌(nonpolar ZnO)，并由其结构间之相似，使此方向之氧化锌可有效将量子局限史塔克效应(Quantum Confined Stark Effect,QCSE)移除，进而达到晶格匹配(lattice match)并获得良好之晶体介面品质，以提升发光效率及后续完成之器件性能。另亦可进一步植入异质接面、多重量子井(Multiple Quantum Well,MQW)或超晶格等低维结构结合为一光电元件，如发光二极体、压电材料或雷射二极体等，以提升发光效率。