发明名称 |
手动/气动组合截止阀 |
摘要 |
一种手动/气动组合截止阀(11)。所述阀包括一个壳体(13);设置在所述壳体中并且具有一个流体入口(19)和一个流体出口(21)的一个阀腔(17);一个隔膜(23);一个阀座(25);一个气动致动器(29),其适于将所述隔膜由第一位置移动至流第二位置,在所述第一位置,所述隔膜和所述阀座在所述流体入口和所述流体出口之间形成密封,在所述第二位置时,所述流体入口和所述流体出口处于连通状态;以及手柄(31),适于使用所述致动器,将所述隔膜手动地由所述第二位置移动至所述第一位置,不管是否出现气动控制信号。所述阀通过将手动阀和气动阀的功能组合到一个元件中,而使工艺流体控制装置的长度缩短,并因此缩短流体控制板的尺寸。 |
申请公布号 |
CN101230925A |
申请公布日期 |
2008.07.30 |
申请号 |
CN200810009924.2 |
申请日期 |
2004.01.17 |
申请人 |
应用材料有限公司 |
发明人 |
B·N·穆罕默德;P·巴罗斯;R·A·马丁;M·A·克罗克特;E·S·斯卡拉 |
分类号 |
F16K1/36(2006.01);F16K31/143(2006.01) |
主分类号 |
F16K1/36(2006.01) |
代理机构 |
北京纪凯知识产权代理有限公司 |
代理人 |
赵蓉民 |
主权项 |
1.一种用于流体控制装置的手动/气动组合阀,该阀包括:一个壳体;一个阀腔,其设置在所述壳体中,所述阀腔具有一个流体入口和一个流体出口;一个气动致动器,作为对气动信号的响应,其适于在第一状态和第二状态之间移动所述阀,在所述第一状态,停止流体在所述流体入口和所述流体出口之间的流动,在所述第二状态,允许流体在所述流体入口和所述流体出口之间的流动;以及一个手柄,其适于将所述阀由所述第二状态移动至所述第一状态,不管气动信号是否出现在所述致动器中。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |