电浆反应器之基材支撑表面的特征化处理

摘要

本发明大体上提供用于在电浆反应器中为大面积基板提供必要电容去耦的装置和方法。本发明的一个实施例提供在电浆反应器中使用的基板支撑件,该基板支撑件包括一导电主体,该导电主体包括一顶面,该具有用于接触大面积基板之背面的多个突起区域,该多个突起区域占据小于约50%的顶面表面积。