半导体生产监控系统

摘要

一种半导体生产监控系统,具有一第一监视画面与一第二监视画面,以显示半导体生产机台之生产资讯,以作为管理人员判断机台效率与人员工作效率之依据。其中第一监视画面包含有复数个条状图,代表晶圆生产之工时,条状图起点代表晶圆生产之起始时间,而其终点代表晶圆生产之结束时间。第二监视画面则包含有复数个时间区块,分别代表机台情况。其起点代表此一机台情况之起始时间,而终点则代表此一机台情况之结束时间。第一监视画面更可包含复数个管制时段。